工業(yè)制氧方面，對(duì)于中小規(guī)模的制氧需求，也有使用變壓吸附制氧的，包括PSA制氧及VPSA制氧工藝，工作原則是利用高效的氮氧分離吸附劑吸附氮?dú)猓揭欢〞r(shí)間進(jìn)行解吸再生，周期性操作，兩塔或者更多吸附塔并聯(lián)，達(dá)到連續(xù)產(chǎn)氧的目的。

氧氣的工業(yè)制法是利用液氮的沸點(diǎn)比液態(tài)氧氣的沸點(diǎn)低，從而制得工業(yè)氧氣。采用的方法為物理方法，首先采用低溫加壓的方式，將空氣液化。然后調(diào)節(jié)溫度，利用液態(tài)氮的沸點(diǎn)低于液態(tài)氧，將液態(tài)氮蒸騰出去，剩下的即主要為液態(tài)氧。

氣體純化設(shè)備主要是根據(jù)原料氣中所含的不同成分雜質(zhì)以及需要去處的雜質(zhì)，采用不同的工藝對(duì)原料氣進(jìn)行提純的設(shè)備。提純技術(shù)包括化學(xué)反應(yīng)、物理吸附、化學(xué)吸附等。常用的如催化反應(yīng)、分子篩吸附、超低溫吸附、金屬吸氣劑吸附，鈀合金膜擴(kuò)散純化等，常用工藝包括PSA，TPSA等。采用什么樣的提純方法，利用何種工藝主要取決于需分離的雜質(zhì)以及純化后的雜質(zhì)含量要求。

小型廂體式制氮機(jī)是以經(jīng)過除油除水凈化處理后的壓縮空氣為原料，以碳分子篩為吸附劑，在低壓狀態(tài)下，利用空氣中的氧和氮在碳分子篩中的擴(kuò)散速率不同，將氧和氮在吸附塔中進(jìn)行分離，使得空氣中的氧氣停留在碳分子篩中，氮?dú)鈩t流出吸附塔進(jìn)入氮?dú)鈨?chǔ)罐，再經(jīng)過濾輸出。當(dāng)碳分子篩中所吸附的氧氣飽和后，壓縮空氣被切換進(jìn)入另一只吸附塔進(jìn)行同樣的吸附工作，吸附飽和的吸附塔則進(jìn)行降壓解吸。這樣交替往復(fù)的吸附過程實(shí)現(xiàn)空氣的氮氧分離，從而連續(xù)產(chǎn)出所需氮?dú)狻?